服閥范圍內(nèi)。20世紀(jì)70年代以來，伺服閥一般僅指電液伺服閥。
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典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成(見圖)。當(dāng)輸入線圈通入電流
伺服閥
伺服閥
時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過 C1流過回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。
伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性能的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。
伺服閥結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價高，對油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點(diǎn)，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號直接控制油流。

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MOOG伺服閥的常見故障
1)力矩馬達(dá)部分
a.線圈斷線:引起閥不動，無電流。
b.銜鐵卡住或受到限位:原因是工作氣隙內(nèi)有雜物，引起閥門不動作。
c.球頭磨損或脫落:原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩(wěn)定，頻繁調(diào)整。
d.緊固件松動:原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。
e.彈簧管疲勞:原因是疲勞，引起系統(tǒng)迅速失效，伺服閥逐漸產(chǎn)生振動，系統(tǒng)震蕩，嚴(yán)重的管路也振動。
f.反饋桿彎曲:疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。
2）噴嘴擋板部分
a.噴嘴或節(jié)流孔局部或全部堵塞:原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴(yán)重的引起系統(tǒng)不穩(wěn)定。
b.濾芯堵塞:原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴(yán)重的引起系統(tǒng)擺動。
3)滑閥放大器部分
a.刃邊磨損:原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統(tǒng)不穩(wěn)定。
b.徑向?yàn)V芯磨損:原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。